电子行业

电子行业中压缩空气应用场景十分广泛，半导体与芯片制造中的晶圆吹扫、光刻辅助设备，电子元器件生产中的贴片机、插件机、点胶机，PCB 电路板生产中的蚀刻、清洗吹干设备，电子组装环节的焊接辅助、封装机、包装机、喷码机，此外还有精密零部件输送、元器件干燥、模具与工作台吹扫、气动仪表元件、生产线自动控制用气、实验室检测用气等。

在电子行业中，压缩空气常与精密电子元器件、芯片、电路板直接接触，因此压缩空气系统必须保持高度洁净。压缩空气需经过深度净化处理，通过专业检测达标，满足电子生产洁净车间要求，同时符合电子制造相关洁净生产规范。直接接触电子元器件的用气，如晶圆吹扫、元器件干燥、电路板吹干等，必须严格控制压缩空气中的油、水分、固体微粒子以及悬浮杂质含量，同时要求无异味、无腐蚀性。

非直接接触性用气主要为生产线动力执行机构、普通气动仪表用气；直接接触精密电子元件、高纯制程的用气，如电子粉体输送、芯片表面吹扫、精密部件清洁等，对空气质量要求极高，可选用无油水润滑螺杆空压机并搭配多级精密过滤装置。

仪表用气，主要供给气动仪表、精密压力与流量调节器等设备使用，除不控制微生物粒子、不强制要求无异味外，其余油、水、固体粒子的控制标准均与电子制程直接接触用气相同。仪表用气的质量标准，同样可参照 GB/T13277《一般用压缩空气质量等级》查询执行。